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    四方SK-3擴散泵油

    2022-07-11
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    擴散泵油的斷續沸騰主要是由下列因素引起的:


    1.擴散泵漏水,可能是擴散泵上的兩個進氣管漏水,管道密封圈因為溫度過高(冷卻時間太長)而出現了滲漏、滲漏、熔焊(通常不會出現),通常是更換密封套,更換硅油或者擴散泵油.


    2.反向擴散的氣體分子


    3.擴散泵油的裂化分解,通常,擴散泵的工作油需要在飽和蒸汽壓以下(約0.00000001 Pa)以下,具有良好的耐熱性,不容易被氧化。


    4.因化學反應引起的油泵內部雜質而產生的效果


    受吸氣體的反向擴散是限制擴散泵實現真空的一個重要原因。氣體的反向擴散與分子質量相關,粒子的體積越小,反擴散的可能性越大。擴散泵抽氫容易發生反擴散,目前存在兩種防止氫氣反擴散的方法:一是通過兩個擴散泵串聯作用,減小擴散泵的排氣壓力;第二,在擴散泵的進氣口管線上加裝了液氮冷卻的鈦升華阱,以捕獲反擴散的氫氣。


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